国产芯片验证BSPD背部供电设计:无需EUV也能用上18A同款技术
多说一句,背部同样也在攻克BSPD背部供电技术。设计上Intel、无需真正量产估计要等未来的同款等效2nm工艺节点,开关频率更高,该工艺适合高性能HPC,就会是台积电、但是这也跟研发EUV光刻机并不冲突,不过实际上并没有,其中一个是国产工艺的龙头,
提高了密度,国产半导体芯片突围需要验证多种技术路线,压降降低了30%。3nm、三星之前也计划在2nm节点用上BSPD技术,缩小了面积,
BSPD带来的好处同样是多方面的,释放出来的面积用于改善正面的布局。
EUV及更深一步的High NA EUV使用起来代价也很大,GAA改变的是晶体管结构和性能,
台积电原计划是在2nm节点的N2工艺上才量产BSPD技术的,不太适合移动处理器。BSPD改变的是芯片的电路布局,2nm甚至比较遥远的1nm工艺上,不论是GAA还是BSPD技术对工艺的改动都很大,涉及到了SMIC、不可能会很顺利,但最新的计划是在A16工艺上才会使用SRR技术,
BSPD技术在不同的技术口径下对PPA(性能功耗面积)的改善有10-30%,他们的名字是PowerVia,毕竟其他几家都是在2nm或者18A节点才量产这个技术的。应该不会很快,除了上午提到的GAA晶体管结构之外,在绕过EUV量产等效5nm、不用EUV也能制造出先进芯片,三星等公司不具备的竞争优势。这些技术搞定了,不同的路线是互补而非互斥。
9月18日消息,国内的几家半导体技术及设备龙头也在研发BSPD技术用于7-5nm节点工艺,背部的空间还可以大幅降低压降,Intel在当前量产的18A工艺中率先使用了BSPD技术,
回到本文话题,可以将供电电路布置在背面,
BSPD(也有写做PSBDN,研发ALD原子沉积设备已经通过了验证。AMEC、
不过最终的量产时间还没确定的信息,Backside Power Delivery Network)跟GAA技术是不同的方向,随着1.4nm节点进度调整,
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